地熱能發電示範獎勵辦法分為招商獎勵及探勘獎勵：
招商獎勵：對象為地方政府，提供資源協助地方政府完成招募地熱發電設備設置者及招商推動及輔導相關作業，提供每案獎勵經費上限為新臺幣300萬元，同一獎勵對象每年以申請1案為原則，計畫執行期程以4年為限。
探勘獎勵：對象為地熱開發業者，獎勵項目包括地質、地球物理、地球化學等地表調查及鑽鑿、套管、產能測試等，提供每案獎勵經費上限為新臺幣1億元，並以業者探勘費用之50%為獎勵上限，同一獎勵對象以申請1案為原則，計畫執行期程以5年為限。
相關內容可至經濟部能源署網站查詢(
https://www.moeaea.gov.tw/ECW/populace/Law/Content.aspx?menu_id=20715)。